Uredjaj za depoziciju atomskih slojeva (Atomic Layer Deposition, ALD)
Oprema je kupljena u sklopu projekta Razvoj istraživačke infrastrukture na kampusu Sveučilišta u Rijeci (RISK), koji je sufinancirala Europska unija iz Europskog fonda za regionalni razvoj.
Beneq TFS 200 ALD sistem s plazmom za PEALD i generatorom ozona
Opis: |
Uređaj za depoziciju atomskih slojeva (ALD) je tehnika koja se koristi za depoziciju tankih anorganskih filmova s velikom preciznošću kontrole debljine.
|
Namjena: | ALD je tehnika depozicije iz pare kojom se mogu narastati tanki filmovi na površinama različitih podloga: planarnim objektima, poroznim materijalima i kompleksnim 3D objektima. Karakterističan ALD proces se sastoji od pulsiranja najčešće dva prekursora u plinovitoj fazi koji reagiraju s površinom podloge. Ovaj proces se ponavlja sve dok se ne postigne željena debljina filma. Zbog samoograničavajuće prirode ALD kemijskih procesa moguće je narastanje uniformnih slojeva jednake debljine bez obzira na geometriju supstrata, precizno kontroliranje sastava i debljine filma. U našem ALD sistemu najčešće se sintetiziraju oksidni tanki filmovi kao što su: ZnO, Al2O3, TiO2, SiO2 i nitridi: AlN, TiN, Si3N4. |
Tehničke specifikacije: |
Uređaj za depoziciju tankih filmova (ALD) – sistem Beneq TFS 200
|
Godina proizvodnje: | 2015. |
Izvor financiranja: | EFRR projekt “Razvoj istraživačke infrastrukture na Kampusu Sveučilišta u Rijeci’’. |
Kontakti: | doc. dr. sc. Iva Šarić (+ 385 51 584 638, iva.saric@uniri.hr) |
Kontakt
SVEUČILIŠTE U RIJECI,
FAKULTET ZA FIZIKU
Ulica Radmile Matejčić 2
51000 Rijeka
Tel.: +385 51 584 600
Fax: +385 51 584 649
E-mail: fizika@phy.uniri.hr
FAKULTET ZA FIZIKU
Ulica Radmile Matejčić 2
51000 Rijeka
Tel.: +385 51 584 600
Fax: +385 51 584 649
E-mail: fizika@phy.uniri.hr
Uredovno vrijeme
Uredovno vrijeme za studente je svaki radni dan osim srijede od 12 do 14 sati.
Za kontakt molimo nazvati:
Za kontakt molimo nazvati:
- Ured dekana na br. 584-600 (O-010)
- Ured prodekanice na br. 584-607 (O-115)
- Ured ISVU koordinatora na br. 584-624 (O-014)
Kalendar nastave
Obrane radova
Obrasci
Izdanja FIZRI
Pretraživanje
Pretražite web stranice ovdje.